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    各種熱処理装置

    半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処…

    拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、 エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあります。 また、小口径基板に適した縦型電気炉や、太陽電池製造用横型拡散炉、 横型CVD装置・LC6400シリーズなどもラインアップされています。 【特長】 ■生産設備・研究開発向けの高温処理炉 ■半導体製造や太陽電池製造などに好適 ■多様なラインアップ ※詳しくはPDF資料を...

    メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

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