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【事例】GCIBを用いたSiO2中アルカリ金属の深さ方向濃度分布
SiO2膜の不純物の評価
カリ金属の移動を酸素スパッタガンに比べ抑えられることがわかりました。この測定を行うことで、SiO2膜中の不純物について定性・定量分析を行うことが可能です。 測定法:TOF-SIMS 製品分野:LSI・メモリ・電子部品 分析目的:微量濃度評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。 ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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