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ガイドスクリーンを使用することで、より広い空間をスーパークリーン化!
『KOACH Ex-F』は、ガイドスクリーンを使用することで、より広い空間をスーパークリーン化できるフロアーコーチです。 フード前方にトンネル型のガイドスクリーンを設置することにより、大空間のスーパークリーンルームが誕生しました。 清浄度はISO クラス1、施工完了時は0.1 μm(10個/m³)、全換気時間は360秒(3段×10列、設定風速:0.3 m/sec時)となっています。 ...
メーカー・取り扱い企業: 関東化学株式会社 電子材料事業本部
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