超高精度・高剛性直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』

1μmの剛性・送り精度・直進性を兼ね備えたアクチュエータ

本製品は、高精度な微小直動送りが必要とされる光学機器のレンズ・ ミラー移動、微小角度調整や半導体製造装置のアライメントステージ X・Y・θ軸調整部などに用いられる直動アクチュエータです。 ガイド部には非開放型ローラ式ガイド「ミリオンガイド」の活用と 独自構造の開発により、サブミクロン単位での超高精度微小送りと 高速送りの両立化を実現。 お客様の要望に合わせてストロークの長短・ス...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社