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    アンモニア分解除害装置

    GaN製造プロセスの排ガス処理を目的とした除害装置です。

    排ガス処理を目的とした除害装置です。 常温乾式除害と触媒分解式除害を効率よく組み合わせ、メンテナンス性向上、 ランニングコスト及び環境負荷の低減を可能に致しました。 【特長】 ・本装置はNH3を触媒分解により窒素と水素に分解、完全無害化します。 ・MOを含むGaN製造プロセス排ガス中の有毒ガスを効率的かつ安全に除害します。 ・酸化法によるNH3除害などで問題となるNOxの発...

    メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

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