MODEL 5100 SERIES

デッドボリューム低減！最大流量1SCCM～20SLMのメタルシールマス…

『MODEL 5100 SERIES』は、N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応する メタルシールマスフローコントローラです。 ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリュームを低減。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM～20SLMと なっております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

MODEL HFM-301 SERIES

対象流体はN2、Air、H2、Heなど！精度±1％F.S.のマスフロー…

当社で取り扱う、大流量用マスフローメータ『MODEL HFC-303 SERIES』を ご紹介します。 N2換算でF.S.1000SLMまでの大流量に対応。対象流体はN2、Air、H2、He、 Ar、O2、CO2等、最大流量は100～1000SLMとなっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■許容周囲温度：...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡