デッドボリューム低減！最大流量1SCCM～20SLMのメタルシールマスフローコントローラ
『MODEL 5100 SERIES』は、N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応する
メタルシールマスフローコントローラです。
ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリュームを低減。
対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM～20SLMと
なっております。
【特長】
■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等
■最大流量：気体 1SCCM～20SLM
■精度：±1％F.S.
■微少流量に対応（N2換算でF.S.1SCCMから）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報MODEL 5100 SERIES
【標準仕様（抜粋）】
■センサ方式：熱式巻線センサ
■バルブ方式：比例ソレノイドバルブ（非通電時 閉）
■制御範囲：2～100％F.S.
■許容周囲温度：0～50℃
■接ガス部材質：SUS316L、Ni、PTFE、Au
■重量：約1000g
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログMODEL 5100 SERIES
取扱企業MODEL 5100 SERIES
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コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
面積式流量計、流体制御バルブ、電子式流量計、各種流体制御装置、 窒素・酸素・オゾンガス発生装置、燃料電池評価装置、脱臭装置、水処理装置等の製造販売
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