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X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド!極高真空計
『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、 ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が 可能な新しいタイプの測定子です。 電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2%BeCu 合金のコンフラット フランジ(ICF70)の中に埋め込まれ、低ガス放出化が図られています。 【特長】 ■3つの測定限界を総合的に改善...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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小型なボディで装置組込みの省スペース化!
熱を奪われたフィラメントが常に一定温度となるよう、加える電力を自動的に調節する定温度型のピラニ真空計です。 小型なボディで装置組込みの際に省スペース化を図ることができます。 表示は操作しやすいデジタル方式です。...帯域(1.0×10-1Pa)?(1.0×10 4Pa)の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。 熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。 (特長) ●(1.0×10...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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