高周波計測器
RF計測器 / チャンバー内のRFを高精度に測定が可能
Octiv Suiteは、RFの以下のパラメータを測定可能です。 ・電圧 ・電流 ・フェーズ ・ハーモニクス ・インピーダンス ・イオンフラックス ・Waveform reconstruction ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マツボー
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