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![小型スパッタ装置 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/a21/2000482980/IPROS27308601239322276689.png?w=64&h=64)
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小型スパッタ装置
対応基板は最大φ1インチまで処理が可能!デュアルガスノズルを備えた装置
『小型スパッタ装置』は、1.3インチマグネトロンスパッタカソードを搭載した
実験用高真空小型制膜装置です。
放電用にマッチングユニット付きのRF電源を一台装備。
酸化反応スパッタリングに対応できるデュアルガスノズルを備えます。
また、対応基板は最大φ1インチまで処理が可能です。
【特長】
■1.3インチマグネトロンスパッタカ...
メーカー・取り扱い企業:
株式会社和泉テック
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