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RFインラインを乱すことなく、チャンバー内の様々な異常を検知し、歩留り…
アンテナをプラズマ処理装置ウィンドに取り付けるだけで装置内の異常が検知可能です。 ...・装置内のガスクリーニングの終わりを検知できます。 ・ウェハのハンドリングミスやガスリーク、圧力変化、電力変化も検知できます。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マツボー
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