RF　スペクトラルメータ

RFインラインを乱すことなく、チャンバー内の様々な異常を検知し、歩留り…

アンテナをプラズマ処理装置ウィンドに取り付けるだけで装置内の異常が検知可能です。 ...・装置内のガスクリーニングの終わりを検知できます。 ・ウェハのハンドリングミスやガスリーク、圧力変化、電力変化も検知できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

アーク検知器

　１usの分解能でアークを検知し、歩留り向上に貢献いたします。　パルス…

・1usの高分解能で電流、電圧の振れ幅をモニタリングし、異常検知いたします。 ・RF電源、マッチングボックス間に容易にインストールすることが可能。 ・Ethernet Net(CAT)等で通信が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー