ウェハ表面欠陥検査装置（レーザー式）

高出力レーザーで微小欠陥を検出！

適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。 ■装置の特長 ・高速検査（約９１秒/6inch） ・PSL 50nm(オプション追加で40nm)相当の微小欠陥検出 ・欠陥の凹凸を弁別 ・SEM等での分析用にケガキ可能 ・レーザー式で検出した欠陥をリアルタイム観察可能な画像式との複合機も提案可能 ・SiCウェハ表面の欠陥検出に対応した波長355nmのレーザーも搭載可能（開発中）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装