サーマル式　液体用マスフローコントローラ　

スルータイプのセンサーをを採用

ト株式会社 ■仕様：精度±0.5% F.S. ■流体名：ご注文時にご指定 ■流量範囲：フルスケール範囲内で、ご注文時にご指定 ■最高圧力：10MPa　オプション40MPa ■本体材質：SUS316、バイトン ■継手サイズ：サイズ：1/8、1/4、タイプ：SWL(他お問合せ下さい) ■入出力信号：0〜5V、0〜20mA、4〜20mA 【製品一覧】 ■5881コントローラ　30〜...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

高圧用　汎用型アナログマスフローコントローラー　5850E

半導体ウエハプロセス、LCDプロセス、光ファイバプロセス、一般研究用な…

文時にご指定 　フルスケールが10〜100L/min対応モデルの5851Em 　100〜1,000L/min対応モデルの5853Eもラインナップ ■最高圧力：10MPa ■本体材質：SUS316L、バイトン ■継手サイズ 　サイズ：1/8、1/4、タイプ：SWL、VCRタイプ ■入出力信号：0〜5VDC □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。...

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コリオリ式　液体・ガス用マスフローコントローラ

画期的設計 (特許)のコリオリ式質量流量センサを採用

　オプション±0.2% Rate ■流体名：ご注文時にご指定 ■流量範囲：フルスケール範囲内で、ご注文時にご指定 ■最高圧力：3.4MPa　オプション10MPa、30MPa ■本体材質：SUS316L、バイトン、カルレッツ他 ■入出力信号：0〜5V、4〜20mA □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

ローコスト　マスフローコントローラ　SFC280ERC

真空製膜装置から研究実験装置まで幅広い用途に対応

SFC280ERC ■仕様：精度±2%　応答性3秒以内(F.S.±2%到達) ■ガス種：ご注文時にご指定 ■流量範囲：フルスケール　10SCCM〜5SLMでご注文時にご指定 ■本体材質：SUS316L、バイトン ■継手サイズ：サイズ：1/8、1/4 ■タイプ：SWL、UJRタイプ ■5SLM〜20SLMの中流量対応のSFC281RCシリーズもご用意 □その他機能や詳細については...

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コンパクトディジタル　マスフローコントローラ

300mmウエハープロセスに対応

度±0.5%　応答性1.5秒以内(設定値の±2%,0.7〜1.2秒 typ) ■ガス種：ご注文時にご指定 ■流量範囲：フルスケール　10SCCM〜30SLMでご注文時にご指定 ■本体材質：SUS316L、内面特殊電解研磨仕様 ■継手サイズ：1/4UJRタイプ、各社IGS対応可能 ■ラバーシール、電解研磨レスのSFC1480FRC/ROもご用意 □その他機能や詳細については、お問合わ...

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高圧用　スマートシリーズマスフローコントローラ　SLA5850

アナログとデジタルの両方のインターフェイスを搭載

範囲 　フルスケール　30mL/min〜30L/minの間でご指定 　(コープレーナバルブで30〜50L/min対応可) ■最高圧力：10MPa(オプション30MPa) ■本体材質：SUS316L、バイトン ■継手サイズ：サイズ：1/8、1/4、タイプ：SWL、VCRタイプ ■入出力信号：0〜5V、0〜20mA、4〜20mA、RS485 □その他機能や詳細については、お問合わ...

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