クリーンルーム内部機器『横型全自動レチクルストッカー』

棚受けはデルリン樹脂成型加工品を使用！パソコン内蔵のため、自社開発のソ…

補正、品種管理が可能)。 また、レチクルケースはニコン製・キャノン製の6inchのほか5inchレチクルケース、 SMIFケース等特殊ケースにも対応できます。 【特長】 ■棚前面にULPAフィルターを装着しレチクルケースはフィルター直下にストック ■ケース入出庫時の衝撃防止のため、棚受けはデルリン樹脂成型加工品を使用 ■自動搬送装置にセット出来るほか、手動、AGV装置によっても...

メーカー・取り扱い企業： 日本エアーテック株式会社 本社

クリーンルーム内部機器『縦型全自動レチクルストッカー』

自社開発のクラス1対応多関節アーム式ロボットを採用！自動搬送装置にセッ…

また、自社開発のクラス1対応多関節アーム式ロボットを採用しています（超低発塵 機構、絶対値制御式サーボモータ、CCDカメラ搭載による位置補正、品種管理が可能)。 【特長】 ■棚前面にULPAフィルターを装着しレチクルケースはフィルター直下にストック ■レチクルケースはニコン製・キャノン製の6inchのほか5inchレチクルケース、 　SMIFケース等特殊ケースにも対応可能 ■ケ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エアーテック株式会社 本社

クリーンルーム内部機器『マニュアルレチクルストッカー』

保管棚の清浄度はISO3～4（クラス1～10）！低価格で約100～30…

【仕様（一部）】 ■清浄度（レチクル保管部）：ISOクラス3～4（クラス1～10） ■集塵効率：0.1μm粒子にて99.999％以上 ■集塵要素 　・メインフィルター：ULPAフィルター 　・プレフィルター：不織布フィルター ■処理風量：約60m3/min ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本エアーテック株式会社 本社