クリーンルーム内部機器『縦型全自動レチクルストッカー』日本エアーテック

自社開発のクラス1対応多関節アーム式ロボットを採用！自動搬送装置にセット出来ます

当社が取り扱う、クリーンルーム内部機器『縦型全自動レチクルストッカー』を
ご紹介します。

ケース入出庫時の衝撃防止のため、棚受けはデルリン樹脂成型加工品を使用。
パソコン内蔵のため、自社開発のソフトが豊富です。

また、自社開発のクラス1対応多関節アーム式ロボットを採用しています（超低発塵
機構、絶対値制御式サーボモータ、CCDカメラ搭載による位置補正、品種管理が可能)。

【特長】
■棚前面にULPAフィルターを装着しレチクルケースはフィルター直下にストック
■レチクルケースはニコン製・キャノン製の6inchのほか5inchレチクルケース、
　SMIFケース等特殊ケースにも対応可能
■ケース入出庫時の衝撃防止のため、棚受けはデルリン樹脂成型加工品を使用
■自動搬送装置にセット出来るほか、手動、AGV装置によっても入出庫が可能
■パソコン内蔵のため、自社開発のソフトが豊富

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.airtech.co.jp/

基本情報クリーンルーム内部機器『縦型全自動レチクルストッカー』

【仕様（一部）】
■清浄度
　・レチクル保管部：ISOクラス4（クラス10）
　・レチクル移動部：ISOクラス4（クラス10）
■集塵要素（メインフィルター）：ULPAフィルター
■集塵効率：0.1μm粒子にて99.999％以上
■処理風量：約100m3/min

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取扱企業クリーンルーム内部機器『縦型全自動レチクルストッカー』

日本エアーテック株式会社本社

クリーンエアシステムの専門メーカーとして、独自の技術を背景にクリーンルーム、クリーンベンチ、バイオハザードシステム等の開発、設計製造、販売を行っております。高信頼性が求められる半導体・液晶分野、再生医療分野などへの納入実績など高い技術力が私たちの強みです。クリーンエアシステム分野において、国内トップシェアを誇っております。日本国内に16拠点、海外に8拠点（中国・シンガポール・台湾・韓国・インド・ドイツ・ベトナム）の営業所や工場を持ち、お客様のニーズに迅速かつ的確に応えることのできる体制を整備しています。