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棚受けはデルリン樹脂成型加工品を使用!パソコン内蔵のため、自社開発のソ…
補正、品種管理が可能)。 また、レチクルケースはニコン製・キャノン製の6inchのほか5inchレチクルケース、 SMIFケース等特殊ケースにも対応できます。 【特長】 ■棚前面にULPAフィルターを装着しレチクルケースはフィルター直下にストック ■ケース入出庫時の衝撃防止のため、棚受けはデルリン樹脂成型加工品を使用 ■自動搬送装置にセット出来るほか、手動、AGV装置によっても...
メーカー・取り扱い企業: 日本エアーテック株式会社 本社
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自社開発のクラス1対応多関節アーム式ロボットを採用!自動搬送装置にセッ…
また、自社開発のクラス1対応多関節アーム式ロボットを採用しています(超低発塵 機構、絶対値制御式サーボモータ、CCDカメラ搭載による位置補正、品種管理が可能)。 【特長】 ■棚前面にULPAフィルターを装着しレチクルケースはフィルター直下にストック ■レチクルケースはニコン製・キャノン製の6inchのほか5inchレチクルケース、 SMIFケース等特殊ケースにも対応可能 ■ケ...
メーカー・取り扱い企業: 日本エアーテック株式会社 本社
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保管棚の清浄度はISO3~4(クラス1~10)!低価格で約100~30…
【仕様(一部)】 ■清浄度(レチクル保管部):ISOクラス3~4(クラス1~10) ■集塵効率:0.1μm粒子にて99.999%以上 ■集塵要素 ・メインフィルター:ULPAフィルター ・プレフィルター:不織布フィルター ■処理風量:約60m3/min ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 日本エアーテック株式会社 本社
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