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お客様からお預かりした材料・製品の受託分析を行います。前処理から測定ま…
量分析法 SIMS 二次イオン質量分析法 TOF-SIMS 飛行時間型二次イオン質量分析法 ICP-MS 誘導結合プラズマ質量分析法 ほか ○光電子分光法 XPS X線光電子分光法 UPS 紫外光電子分光法 ○電子顕微鏡観察・分析 AES オージェ電子分光法 SEM 走査電子顕微鏡法 EBIC 電子線誘起電流法 ほか ○振動分光 FT-IR フーリエ変換赤外分光法 ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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ITO表面プラズマ処理後のUPS分析
みがなされており、それらの効果を検証することは重要です。 本資料では、有機ELや太陽電池等の電極材料として用いられるITO(SnドープIn2O3)について、表面プラズマ処理前後での仕事関数変化をUPS分析により評価した例をご紹介します。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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UPS:紫外光電子分光法
半導体では、価電子帯立ち上がり位置(VBM)と高束縛エネルギー側の立上り位置(Ek(min))より、イオン化ポテンシャルを求めることが可能です。 表面有機汚染除去程度のArイオンスパッタクリーニング後に測定を行っています。 ■価電子帯立ち上がり位置(VBM)の決定 価電子帯頂点近傍のスペクトルを直線で外挿し、バックグラウンドとの交点を求めます。 ■イオン化ポテンシャルの算出 イオン化ポ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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XPS・UPSを用いた結合状態・電子状態評価
FT材料として研究開発が進んでいる材料です。 複数の金属元素から構成されるため、プロセスによってどのように組成や結合状態、電子状態がどのように変化するかを把握しておくことが重要です。 XPS・UPSを用いてIGZO膜表面の組成・結合状態・電子状態を評価した事例をご紹介します。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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