マイクロコンタクトプリンター『PA400S』

高精度コンタクト圧制御！簡易的な光ナノインプリント実験も可能

マイクロコンタクトプリンター『PA400S』は、次世代のデバイス製作手法 として注目を集めるmCP（micro contact printing）法や簡易的な 光ナノインプリント（UV－NIL）法に対応する マイクロコンタクトプリント装置です。 mCP法は急速に展開してきた有機エレクトロニクス分野や バイオ用マイクロ構造体などを、PDMSスタンプによるチオールインク転写...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

両面同時露光マスクアライナー『BS425』『BS620』

ウェハ表裏同時露光！セミオート動作で中ロット生産に対応

　・最大口5インチ『BS425』 　・最大口7インチ『BS620』 　・マスク・ウェハサイズ変更は上下マスクホルダー交換 ■露光性能 　・有効露光範囲φ105mm Hgランプ250W ■UV照度 　・上側約15mW／cm2以上 　・下側15mW／cm2以上（at365nm） 　・照度均一度約±10％ ■露光解像度：ライン＆スペース3μm 　・デバイスの最終加工精度ではありませ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック