NanoTR･PicoTR / 薄膜熱物性測定装置

ナノメートルオーダーの薄膜の熱物性測定が可能な唯一の装置

薄膜熱物性測定装置NanoTR･PicoTRは、金属薄膜や酸化物薄膜、有機薄膜などの熱物性値を高精度に測定する世界初の薄膜熱物性測定装置です。 【特長】 ■厚さ数10nm～数μmの薄膜の熱拡散率や熱浸透率、界面熱抵抗の測定が可能 ■RF方式とFF方式の両方の方式を搭載しており、基盤の種類を問わず測定可能 ■SIトレーサブルな装置で、JIS R 1689, JIS R 1690に準拠...

メーカー・取り扱い企業： ネッチ・ジャパン株式会社