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電子顕微鏡関連機器 電子線描画用パターン発生装置 SPG-724
お使いのSEMの機能を損なうことなく電子線描画が可能です。
:1000²/2000²/4000²/5000²/10000²dot →ブロックスキャン:1000²dot ○最小アドレスサイズ:5nm/dat ○ドーズタイム:0.5μsec/dot~10msec/dot [制御系] ○PC(OS):Microsoft・Windows ○CAD:CANVAS [設置条件/寸法] ○電源容量:単相100V 50/60Hz 10A ○寸法:約450...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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