高機能自動外観（チップ6面）検査装置

自由なハードウェア選択！カメラ、レンズ、PCなど市場にある機器が自由に…

準装置仕様（一部）】 ■測定ステージ：6面ステージ仕様（前端面、右側面/上面、後端面、左側面）底面は搬送時測定 ■オートフォーカス：Z軸（設定分解能0.1μm）高速オートフォーカス機能（200msec/20枚） 　※露光時間によって変わる ■対物レンズ：20X（自由に選択可） ■検査分解能：1μmのキズ、コンタミ検査可　分解能0.25μm（20X時） ■照明：同軸落斜照明（3色高輝度L...

メーカー・取り扱い企業： ダイトロン株式会社