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Nano-simulation
ナノシミュレーションは物理・化学法則に基づいて原子・分子を取り扱う計算科学手法であり、多様な現象を理解するために活用できます。単分子・クラスター等の非常に小さく単純な系から、界面・欠陥・外場(電場、圧力など)といった比較的複雑な系まで取り扱うことができます。 ■有効な場面 ・着目現象に対し、原子・分子レベルで立てた仮説の検証をしたいとき ・各種分光スペクトルの詳細な帰属・解釈を行いたいとき ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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NBD:Nano Beam Diffractionによる微小領域の歪解…
NBD法では電子線が試料中で回折する角度(電子回折スポット位置)の変化から、格子歪に関する知見を得ることができます。任意の晶帯軸入射方向で、デバイスパターンに合わせた測定が可能です。 素子分離領域(LOCOS周辺)のSi基板について測定した結果、熱処理温度・結晶方向によって歪量が異なっていることが確認できました。...詳しいデータはカタログをご覧ください...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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EBSD:電子後方散乱回折法
TEM(NBD:Nano Beam Diffraction)のような薄片化加工を行うことなく、バルク状態での測定が可能です。 SEM特有の高い空間分解能を持ち、比較的高い歪み感度を持っています。 また、局所的な格子歪みをテンソルデータとして検出できる可能性があります。...詳しいデータはカタログをご覧ください...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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