mini CORI-FLOWの適用（ポンプシステム　事例1）

【ポンプシステム　事例1】ガス又は液体プリカーサーデリバリー

蒸着プロセスでは色々のプリカーサー流体（ガス、液体を問わず）を正確に制御されなければなりません。 「mini CORI-FLOW(R)シリーズ高精密マスフロー調節計」は、特にこれらディマンディングなアプリケーションに最適です。 “マルチレンジ”機能のおかげで、OEM顧客は何種類もの計器を数多く保有する必要がありません。 この計器はレンジ変更が簡単であり、従ってコストオブオーナシップを提供い...

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社