原子間力顕微鏡(AFM)『Park NX-Hivac』

故障解析アプリケーションに適した真空環境スキャニング

『Park NX-Hivac』は、故障解析および環境の影響を受けやすい材料向けの 高真空原子間力顕微鏡(AFM)です。 高濃度ドープの半導体の正確な故障解析が可能。 また、当社のすでに認められた技術を用いることによって、高分解能で 高い再現性と操作性による低ノイズ計測を可能にした製品です。 【故障解析の為の高真空計測】 ■高速スキャンのための進化したStepScan自動機構...

メーカー・取り扱い企業： パーク・システムズ・ジャパン株式会社