極高真空計『3B-Gauge』

X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド！極高真空計

『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、 ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が 可能な新しいタイプの測定子です。 電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2%BeCu 合金のコンフラット フランジ(ICF70)の中に埋め込まれ、低ガス放出化が図られています。 【特長】 ■3つの測定限界を総合的に改善...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

電源装置『高電圧半導体スイッチ』

スイッチング素子としてSiC-MOSFETを採用し、電力損失を大幅低減

『高電圧半導体スイッチ』は、高電圧で 高速なパルスを発生させる、電源装置です。 FETを90段直列に接続し、最大90kVのスイッチングを実現しました。 運転周波数は直流から5kHzまでのパルス運転が可能です。 また、低オン抵抗や高速スイッチング等の利点があり、 90kVのスイッチユニットを給電・放電用の2台内臓しております。 スイッチユニット基板の設計・開発、製作・調整や ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社