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真空紫外エキシマランプを使用!ポリビニルアルコールの化学構造がどう変化…
真空紫外(VUV)光は、短波長で光子エネルギーが高いため、 非熱過程で分子の結合を切断することができ、洗浄や微細加工、 表面改質などへの応用が進められています。 当資料では、金蒸着した基板にPVA水溶液をスピンコート後、 加熱処理を行い、膜を作製し窒素あるいは乾燥空気雰囲気下で キセノンエキシマランプ(172nm)を照射。 赤外分光器ならびにX線光電子分光分析装置を用い、VUV...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クォークテクノロジー
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