株式会社クォークテクノロジー 【技術資料】ポリビニルアルコール薄膜の表面改質
- 最終更新日:2022-10-13 14:11:06.0
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真空紫外エキシマランプを使用!ポリビニルアルコールの化学構造がどう変化するか検討
真空紫外(VUV)光は、短波長で光子エネルギーが高いため、
非熱過程で分子の結合を切断することができ、洗浄や微細加工、
表面改質などへの応用が進められています。
当資料では、金蒸着した基板にPVA水溶液をスピンコート後、
加熱処理を行い、膜を作製し窒素あるいは乾燥空気雰囲気下で
キセノンエキシマランプ(172nm)を照射。
赤外分光器ならびにX線光電子分光分析装置を用い、VUVの
照射に伴うPVA膜の化学状態の変化を観測しました。
【特長】
■はじめに
■実験
■結果と考察
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