加熱と冷却の課題、溶湯鍛造法で解決！半導体製造装置業界で注目！

アルミ展伸材でもできる複合材内蔵型鋳込みヒーターは、高温環境下、真空環…

【冷却プレートとホットプレート用途と特性（抜粋）】 〈真空ポンプ用φ250冷却プレート〉 ■アルミ＋ステンレスパイプ＋アルミ ■ステンレス製の水冷間管パイプを2枚のアルミ板ではさみ接合 ■高圧接合により密着度が高く、パイプの冷却に優れ、熱だまりの少ない、優れた水冷板 〈半導体製造装置用冷却部品〉 ■アルミ＋銅パイプ＋アルミ ■銅製の水冷間管パイプを2枚のアルミ板では...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスコンポジット株式会社 本社　富士事業所