アドバンスコンポジット株式会社 加熱と冷却の課題、溶湯鍛造法で解決!半導体製造装置業界で注目!
- 最終更新日:2023-06-22 10:30:10.0
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アルミ展伸材でもできる複合材内蔵型鋳込みヒーターは、高温環境下、真空環境下でも高性能!さらに加熱・冷却両機能の一体型も製作可
当社の材料の特長は、ヒーター線や水冷パイプなどを溶湯アルミで
くるむ技術(鋳ぐるみ)です。
溶けたアルミで鋳ぐるみすることで、アルミの接点との空気層をなくし、
熱伝導率と均熱性を大幅に向上させます。
また、上下の冷却プレートにマイカヒーターを挟み込むことにより、
加熱と冷却の両方を一体化した構造が可能です。
ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。
【特長】
■ヒーター線や水冷パイプなどを溶湯アルミでくるむ技術
■熱伝導率と均熱性を大幅に向上
■加熱と冷却の両方を一体化した構造が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報加熱と冷却の課題、溶湯鍛造法で解決!半導体製造装置業界で注目!
【冷却プレートとホットプレート用途と特性(抜粋)】
〈真空ポンプ用φ250冷却プレート〉
■アルミ+ステンレスパイプ+アルミ
■ステンレス製の水冷間管パイプを2枚のアルミ板ではさみ接合
■高圧接合により密着度が高く、パイプの冷却に優れ、熱だまりの少ない、優れた水冷板
〈半導体製造装置用冷却部品〉
■アルミ+銅パイプ+アルミ
■銅製の水冷間管パイプを2枚のアルミ板ではさみ接合
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■半導体ヒーター ■真空で使用可能なヒーター(中真空~高真空環境下にて実績有り) ■冷却パイプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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