アドバンスコンポジット株式会社 加熱と冷却の課題、溶湯鍛造法で解決!半導体製造装置業界で注目!

アルミ展伸材でもできる複合材内蔵型鋳込みヒーターは、高温環境下、真空環境下でも高性能!さらに加熱・冷却両機能の一体型も製作可

当社の材料の特長は、ヒーター線や水冷パイプなどを溶湯アルミで
くるむ技術(鋳ぐるみ)です。

溶けたアルミで鋳ぐるみすることで、アルミの接点との空気層をなくし、
熱伝導率と均熱性を大幅に向上させます。

また、上下の冷却プレートにマイカヒーターを挟み込むことにより、
加熱と冷却の両方を一体化した構造が可能です。

ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。

【特長】
■ヒーター線や水冷パイプなどを溶湯アルミでくるむ技術
■熱伝導率と均熱性を大幅に向上
■加熱と冷却の両方を一体化した構造が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【冷却プレートとホットプレート用途と特性(抜粋)】
〈真空ポンプ用φ250冷却プレート〉
■アルミ+ステンレスパイプ+アルミ
■ステンレス製の水冷間管パイプを2枚のアルミ板ではさみ接合
■高圧接合により密着度が高く、パイプの冷却に優れ、熱だまりの少ない、優れた水冷板
〈半導体製造装置用冷却部品〉
■アルミ+銅パイプ+アルミ
■銅製の水冷間管パイプを2枚のアルミ板ではさみ接合

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価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■半導体ヒーター
■真空で使用可能なヒーター(中真空~高真空環境下にて実績有り)
■冷却パイプ

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カタログ加熱と冷却の課題、溶湯鍛造法で解決!半導体製造装置業界で注目!

取扱企業加熱と冷却の課題、溶湯鍛造法で解決!半導体製造装置業界で注目!

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アドバンスコンポジット株式会社 本社 富士事業所 

■溶湯鍛造による金属基複合化材料及び接合製品の開発、製造並びに販売

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