BS/JEBG/EBG series 電子銃

光学薄膜や電極膜など各種薄膜形成に利用される電子ビーム蒸着用電子銃(偏…

ム蒸着用電子銃(偏向型)です。 〇特長 ・蒸発材料に電子ビームを直接照射し加熱するため熱効率が良く、高融点金属を始め、酸化物や化合物、昇華性物質など様々な材料を蒸発させる事ができます。 ・水冷銅るつぼ内(※)の蒸発材料を直接加熱するため、抵抗加熱式や誘導加熱式のようにボートやるつぼとの反応がありません。 ※ハースライナーを使用する場合もあります。 ・高速で出力制御できるため、精密な膜厚制御が可...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社