【技術資料】ポリビニルアルコール薄膜の表面改質

真空紫外エキシマランプを使用！ポリビニルアルコールの化学構造がどう変化…

真空紫外（VUV）光は、短波長で光子エネルギーが高いため、 非熱過程で分子の結合を切断することができ、洗浄や微細加工、 表面改質などへの応用が進められています。 当資料では、金蒸着した基板にPVA水溶液をスピンコート後、 加熱処理を行い、膜を作製し窒素あるいは乾燥空気雰囲気下で キセノンエキシマランプ（172nm）を照射。 赤外分光器ならびにX線光電子分光分析装置を用い、VUV...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クォークテクノロジー