集束イオンビーム加工観察装置【加工事例有り】

数ミクロン以下のナノオーダーの加工技術！極低加速電圧による低ダメージ加…

※特長 ・高プローブ電流による高速、大面積加工が可能。 ・2次電子像分解能　5nm以下 ・ビーム照射領域のみを選択的にエッチングするマスクレス加工が可能 ・マスク製作の工程を省き、コストダウンのメリットが期待 ・3D再構築解析により加工経過や状況を観察機能を、FIB装置に搭載。加工中に発生する課題も解決 ※加工への...

メーカー・取り扱い企業： 東レ・プレシジョン株式会社