イオン注入装置　ディスク再生サービス

高品質なディスク再生を低価格にてご提供するサービス

ems社のサービスです。 ハイカレント・高エネルギーイオン注入装置バッチ式エンドステーション ディスクは、長時間にわたるイオン照射によりウェハへのパーティクル付着、 元素レベルの汚染、エラストマーの経時変化による冷却能力低下やウェハ脱着の 不具合といった、管理上見過ごすことの出来ない問題が発生します。 部品洗浄やエラストマー交換を始めとするディスク再生を定期的に実施し、 これら...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫