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表面の付着成分(ポリジメチルシロキサンなど)をTOF-SIMSで評価で…
して代表的なポリジメチルシロキサン(PDMS)について、保管環境が異なるSiウェハ表面の比較を行った例を紹介します。 測定法:TOF-SIMS 製品分野:電子部品・製造装置・部品・その他(エレクトロニクス全般) 分析目的:表面分析・化学結合状態評価・故障解析・不良解析・その他(汚染評価、品質管理) 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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