用途例『マイクロエレクトロニクスにおけるスラリーシステム』

CMPスラリーに最適なバルブのご提案

CMPスラリーのアプリケーションには極めて厳しい仕様要求があります。GEMÜのコンポーネントはその要求を満たしながら,流量を最大化する構造を持ち,研磨性スラリーを安全に運びます。 このアプリケーションには,GEMÜよりPFA製のダイアフラムバルブ,グローブバルブ,計測器,フィッティングチューブをご提案できます。...※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

【メタルフリー/薬液用】C30型フッ素樹脂製圧力計

高純度流体向けの高精度圧力計

C30型は,高品質のテフロンコーティングステンレス製ゲージを装備しています。 主に半導体およびマイクロエレクトロニクス産業向けのメタルフリー構造です。 接液部は全てPTFEまたはPFA製であるため,浸食性・腐食性流体,高純度の流体に好適です。 3層ダイアフラム構造により,プロセス流体とセンサー部を確実...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

新型ピラニ真空計・THERMOVAC TTR-RN

高い堅牢性と柔軟性、容易なメンテナンスが特長のピラニ真空計。真空の容易…

ーティクルによる汚染から守るためにフィルターを内蔵。 【柔軟性】フランジタイプや出力、インターフェースの種類を選択可能。 【メンテナンス】工具不要。ピンを抜くだけで簡単に測定セルやエレクトロニクスを交換可能。 【モニタリングと制御】過酷なシステムでも容易にモニタリングや制御が可能。360°のLEDリングによるステイタスインジケーターで真空度を表示。...

メーカー・取り扱い企業： ライボルト株式会社

新型ペニング真空計・PENNINGVAC PTR-RN

堅牢で柔軟、容易な保守性のペニング真空計。

計。フランジタイプ、出力とインターフェースを選択可能です。コンパクトな設計でスペースが重要なアプリケーションにも最適です。 メンテナンスは容易で、工具は不要。ピンを抜くだけで簡単に測定セルやエレクトロニクスを交換可能です。幅広い測定範囲にわたって容易にモニタリングと制御が可能。スループットを向上させダウンタイムを短縮、システムを最適化できます。...

メーカー・取り扱い企業： ライボルト株式会社

フジボウ『圧電型フレキシブルセンサ』

フッ素樹脂系強誘電体層が高い応答性と感度を実現。フレキシブルな上にセン…

ウエアラブル生体センサ(脈波形、脈拍数、体表面温度)　◎風圧センサ　◎インフラのトラブル検知　◎タッチセンサ　◎ロボットの指先センサ　◎振動センサ（防犯用途等） ※本製品は、山形大学有機エレクトロニクス研究センターとの共同開発品です。 　詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 富士紡ホールディングス株式会社 近未来商品開発統括部 (BtoBサイト担当部門)

【メタルフリー/薬液用】C31型フッ素樹脂製圧力センサー

高純度流体向けの高精度圧力センサー

C31型は,圧力媒体により動作する高品質の圧力トランスミッターです。 主に半導体およびマイクロエレクトロニクス産業向けのメタルフリー構造です。 接液部は全てPTFEまたはPFA製であるため,浸食性・腐食性流体,高純度の流体に最適です。 3層ダイアフラム構造により,プロセス流体とセンサー部を確実...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社