用途例『マイクロエレクトロニクスにおけるスラリーシステム』

CMPスラリーに最適なバルブのご提案

CMPスラリーのアプリケーションには極めて厳しい仕様要求があります。GEMÜのコンポーネントはその要求を満たしながら,流量を最大化する構造を持ち,研磨性スラリーを安全に運びます。 このアプリケーションには,GEMÜよりPFA製のダイアフラムバルブ,グローブバルブ,計測器,フィッティングチューブをご提案できます。...※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

【メタルフリー/薬液用】C30型フッ素樹脂製圧力計

高純度流体向けの高精度圧力計

C30型は,高品質のテフロンコーティングステンレス製ゲージを装備しています。 主に半導体およびマイクロエレクトロニクス産業向けのメタルフリー構造です。 接液部は全てPTFEまたはPFA製であるため,浸食性・腐食性流体,高純度の流体に好適です。 3層ダイアフラム構造により,プロセス流体とセンサー部を確実...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

【サニタリー・ダイアフラムバルブ】空気操作式『687型』

GEMÜ製（GEMU）空気操作式ステンレスダイアフラムバルブ（ダイヤフ…

【特徴】 ●粒子を含む流体でも、高いシール性を実現 ●製薬，食品，バイオテクノロジー関係の無菌プロセスに対応（CIP/SIP可能） ●半導体，マイクロエレクトロニクス，ファインケミカル分野でも超高純度流体のハンドリング対応 ●各種材質・仕様に変更可能 ●流路における液溜まりを最大限削減し、腐食の発生を排除 ●耐薬品性のプラスチック製アクチュエーターを...

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【サニタリー・ダイアフラムバルブ】手動式『601型』

GEMÜ製（GEMU）手動ステンレスダイアフラムバルブ（ダイヤフラムバ…

、高いシール性を実現 ●耐薬品性のプラスチック製ハンド ⇒製薬，食品，バイオテクノロジー関係の無菌プロセスに対応 （CIP/SIP可能、オートクレーブ対応） ●半導体，マイクロエレクトロニクス，ファインケミカル分野でも超高純度流体のハンドリング対応 ●多彩なバルブボディ・ダイアフラム ⇒各種材質・仕様に変更可能 ●GEMÜ独自のガスケットシステム ⇒流路における液溜...

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【２段階駆動ダイアフラムバルブ】空気操作式『658/688型』

GEMÜ製（GEMU）空気操作式ステンレスダイアフラムバルブ（ダイヤフ…

限流量）を設定 ⇒バルブ2つを用いた充填装置を、1つのバルブで置き換え可能！ ●製薬，食品，バイオテクノロジー関係の無菌プロセスに対応 ⇒CIP/SIP可能 ●半導体，マイクロエレクトロニクス，ファインケミカル分野でも超高純度流体のハンドリング対応 ●多彩なバルブボディ・ダイアフラム ⇒各種材質・仕様に変更可能 ●GEMÜ独自のガスケットシステム ⇒流路における液溜...

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アプリケーション例『純水・超純水製造』

極めて複雑な製造プロセスに最適なバルブのご提案

「純水・超純水」は,製薬・バイオテクノロジー産業での医薬品や材料の製造,マイクロエレクトロニクス産業,半導体産業などで必要です。 純水は製品の品質や製造プロセスの効率に大きく影響するため,そのプラントコンポーネントも極めて厳しい要求が課されます。 当社では,超純水の処理・ 供給設...

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【メタルフリー/薬液用】C31型フッ素樹脂製圧力センサー

高純度流体向けの高精度圧力センサー

C31型は,圧力媒体により動作する高品質の圧力トランスミッターです。 主に半導体およびマイクロエレクトロニクス産業向けのメタルフリー構造です。 接液部は全てPTFEまたはPFA製であるため,浸食性・腐食性流体,高純度の流体に最適です。 3層ダイアフラム構造により,プロセス流体とセンサー部を確実...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

【サニタリー・ダイアフラムバルブ】空気操作式『650型』

GEMÜ製（GEMU）空気操作式ステンレスダイアフラムバルブ （ダイ…

製アクチュエーターを搭載 ●粒子を含む流体でも、高いシール性を実現 ●製薬，食品，バイオテクノロジー関係の無菌プロセスに対応（CIP/SIP可能、オートクレーブ対応） ●半導体，マイクロエレクトロニクス，ファインケミカル分野でも超高純度流体のハンドリング対応 ●各種材質・仕様に変更可能 ●流路における液溜まりを最大限削減し、腐食の発生を排除 ●各種接続規格に対応可能（ASME, ANS...

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【サニタリー・ダイアフラムバルブ】空気操作式『625型』

GEMÜ製（GEMU）空気操作式ステンレスダイアフラムバルブ（ダイヤフ…

【特徴】 ●粒子を含む流体でも、高いシール性を実現 ●製薬，食品，バイオテクノロジー関係の無菌プロセスに対応（CIP/SIP可能） ●半導体，マイクロエレクトロニクス，ファインケミカル分野でも超高純度流体のハンドリング対応 ●各種材質・仕様に変更可能 ● 液溜まりを最大限削減し、腐食の発生を排除。 ●耐薬品性のプラスチック製アクチュエーターを搭載 ...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

【サニタリー・ダイアフラムバルブ】手動式『673型』

GEMÜ製（GEMU）手動ステンレスダイアフラムバルブ（ダイヤフラムバ…

【特徴】 ●粒子を含む流体でも、高いシール性を実現 ●耐薬品性のプラスチック製ハンド（CIP/SIP可能、オートクレーブ対応） ●半導体，マイクロエレクトロニクス，ファインケミカル分野でも超高純度流体のハンドリング対応 ●各種材質・仕様に変更可能 ●流路における液溜まりを最大限削減し、腐食の発生を排除 ●狭い場所にも設置可能なコンパクト設計 ●...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

【充填ダイアフラムバルブ】空気操作式『660型』

GEMÜ製（GEMU）空気操作式ステンレス・フィリングダイアフラムバル…

●操作空気使用量が少ない ⇒迅速な作動が可能で、工程の省時間化を実現 ●製薬，食品，バイオテクノロジー関係の無菌プロセスに対応 ⇒CIP/SIP可能 ●半導体，マイクロエレクトロニクス，ファインケミカル分野でも超高純度流体のハンドリング対応 ●多彩なバルブボディ・ダイアフラム ⇒各種材質・仕様に変更可能 ●GEMÜ独自のガスケットシステム ⇒流路における液溜...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社