プロトスキャリア対応自動移載システム『SSY-20010』

ワークの高さを自動で認識できるプロトスキャリア対応自動移載システム

『SSY-20010』は、プロトスキャリア内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送する 自動移載システムです。 プロトスキャリア、カセット間をダメージなく自動移載でき、ベルヌーイチャックを 搭載しているので、薄物ウェーハにも対応しています。 また、ウェーハとプロトススペーサ(層間紙)の自動識別が可能で、ワークの高さを 自動...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル