FA・工場の自動化事例：ウェハーキャリア取出治具

カスタマイズ可能！リフトアップさせたままウェハーの取出し作業が容易に行…

い。 【概略仕様】 ■対応ウェハーサイズ：6インチ ■キャリア：26枚入り（ご使用のキャリアに合わせます） ■概略寸法：W300ｘD280ｘH280 ■治具重量：約6kg（ウェハー、カセット含まず） ■リフトアップストローク：70mm程度 ■使用可能清浄度：クラス10000 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メカテック