半導体カセット寸法検査装置『FSMシリーズ』

半導体周辺機器検査の新スタンダードを目指して！広視野撮像によってタクト…

『FSMシリーズ』は、FOUP/FOSB/OCの外径寸法測定を行う装置です。 2500万画素カメラ＋専用光学エンジンにより、超高画質での外径寸法が可能。 様々な角度から、トップフランジ、サイドフォークリフトフランジ、 ウェハ搭載の段ピッチやレジストレーションピンホールを測定・検査します...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所