低価格マスフローコントローラ　MC-10RC series

分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備え…

気体用マスフローコントローラ　MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。 ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。 【特長】 ○ラバーシール採用により低価格での提供を実現 ○流量精度は±1.0%F.S.を保証 ○幅広い流量レンジに対応 ○オプションのバリアブルレンジ機能により、1台で複数の仕様に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

高温マスフローコントローラ　MC-3000L-TC series

多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローコントローラMC-3000L…

独自の特許技術で1.0％F.S.の高精度を実現した、1.125インチサイズの高温用デジタルマスフローコントローラです。 水蒸気などの高温ガス制御に最適です。 【特長】 ○RoHS対応 ○使用温度120℃、ベーキング温度150℃（非通電）が可能 ○デジタルインターフェイスRS-485を装備 ○独自特許技術のセンサを搭載 ○高温対応・高精度のデジタルMFC ※その他機能や詳細に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所