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    【用途事例】半導体製造プロセスにおける圧力計測機器<ガス供給系>

    ガス供給系に適した「高度な圧力計測技術」で新たな価値を創出します!

    各種プロセスガスの計測における、圧力計測機器の 用途事例をご紹介します。 半導体ガス供給系に適応する溶接構造と特殊表面処理技術により、 測定ガスの滞留を最小限に抑制。 ガス供給系に適した「高度な圧力計測技術」で 新たな価値を創出します。 【半導体ガス圧力計測分野】 ■高純度ガス ■半導体材料ガス ■パージ用ガス ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問...

    メーカー・取り扱い企業: 長野計器株式会社

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