小型スパッタ装置『SS-DC・RF301』

小型設計ながら性能はキープ！高温での基板加熱が可能なスパッタ装置

ド+ピラニーゲージ） 　+キャパシタンスゲージ（オプション） ■基板ステージ：2インチ対応ステージ ■基板加熱温度：MAX500℃（オプションでMAX800℃にも対応可能） ■本体架台：キャスター・アジャスター付き（電源部を含む） ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社