測定器『SRS-2010』

カスタマイズ可能な拡がり抵抗測定器

『SRS-2010』は、2探針法の拡がり抵抗測定システムです。 試料の深さ方向の抵抗率分布、エピタキシャル層の厚さ、PN接合の深さ、 キャリア濃度分布を求めることが可能です。 数mm角の領域から、数百μm程度のパターン領域の分析ができます。 測定した拡がり抵抗から、較正曲線を用いて低効率を算出します。 お客様の要望に応じ、様々...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社