• プラズマドライクリーナー PDC200/210/510 製品画像

    プラズマドライクリーナー PDC200/210/510

    プラズマドライクリーナー PDC200/210/510

    小型タイプでR&Dに最適 使いやすく簡単をポイントにした 卓上型高性能タイプの、プラズマドライクリーナー 【特徴】 ○気軽にデータ取りができるため  電子材料を中心に多くの用途に対応 ○本格的、RIE方式(オプションでDP方式も用意) ○プラズマ均一性に優れた電極構造 ○操作が簡単...

    メーカー・取り扱い企業: ヤマト科学株式会社

  • プラズマクリーナー V1000/1000X/1000XS 製品画像

    プラズマクリーナー V1000/1000X/1000XS

    プラズマクリーナー V1000/1000X/1000XS

    13.56MHzの高周波電力を印加した プラズマクリーナー 【特徴】 ○RIE・DPの両モードを搭載 ○電極2段式方式を採用し、処理効率がアップ(V1000X) ○プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能 ○高精度マッチングユニット...

    メーカー・取り扱い企業: ヤマト科学株式会社

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