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世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現!あらゆる製造装置に組み込みが…
『MU-X シリーズ』は、同クラスで、世界最省クラスの省エネとフットプリントを 両立したルーツ型ドライ真空ポンプです。 あらゆる製造装置に組込みが可能です。 ロードロック及び搬送室等のクリーン排気プロセス用途に最適です。 【仕様】 ■消費電力0.35kW ■A3以下の230×450mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【ラインアップ...
メーカー・取り扱い企業: 樫山工業株式会社
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搬送用ロボットの吸着、真空リフトに好適。効率的かつクリーンなソリューシ…
搬送用ロボットの吸着、真空リフトに好適な、効率的かつクリーンなソリューションとなるMINK MV シリーズ真空ポンプです。 【特長】 ■ エジェクターを使った方式と比較し省電力 圧縮空気の必要なエジェクター方式と比較し、真空ポンプは高効率。 3~7割の省エネになるケースもあります! ■ 排気がクリーン 圧縮チャンバー内は完全にドライ。吸引したガスが潤滑剤で汚染 されたり、...
メーカー・取り扱い企業: 日本ブッシュ株式会社
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圧縮比、到達真空度、ガス流量など、業界トップクラスの基本性能
高真空 (< 1x 10-1Pa) が必要とされるアプリケーションで、 ロータリーポンプなどの粗排気ポンプと組合わせて使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。高真空側に油を使用していないため、クリーンな真空が得られることができます。 •使用環境に合わせて仕様選択可能 •ドライブ回路搭載 (※電源搭載モデルもございます。) 省設置スペース、省ケーブル、省コスト •ドライブ...
メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社
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