エッチング装置『MS-3030LWE』

局所的なエッチング領域を形成！走査することによる高精度形状創成

【主な仕様】 ■装置構成 　・装置本体(クリーンルーム対応) 　・操作パネル部(クリーンルーム対応) ■加工対象物：合成石英・Si・SOLウェハ・水晶ウェハ ■主制御部：5軸NC制御 ■テーブルスクロール 　・X軸：350mm 　・Y...

メーカー・取り扱い企業： 明昌機工株式会社