半導体関連装置 「ウェット式エッチング装置」

ドラフト構造でクリーンルーム仕様！エッチング処理やレジスト除去する装置

。 発生ガス、及び空気は、薬品系、有機溶剤系に出来るだけ分けた状況での排気が可能。 使用不可となった薬液（フッ酸、 塩化鉄）と、有機溶剤（アセトン）は付設の専用タンクへ一括排出します。 クリーンルームでも使用できるドラフト構造です。 【特徴】 ○薬液槽、及び純水槽にはＮ２ガス散気システムを装備 ○バブリングにより各液体の混合と高レベルの洗浄効果を発揮 ○薬液槽はすべてPVC製ト...

メーカー・取り扱い企業： オーエヌ総合電機株式会社

危険低減・人的ミス防止に！危険薬品にも対応した『全自動希釈装置』

複数液の混合も、有機溶剤×無機溶剤の組み合わせもOK！ご要望に合わせた…

薬品同士やタイプの違う液同士でも安全に混合できるよう設計されています。そのため、危険作業の低減、健康被害への配慮、ヒューマンエラーなどを防ぐことができます。 装置全体はオールステンレスでクリーンルームなどでも使用可能。タッチパネルを採用したことで初心者でも見やすく簡単に操作できるよう考慮しております。さらに薬品を保管する棚も容器サイズに合わせて柔軟に設計することことも可能です。 【お...

メーカー・取り扱い企業： オーエヌ総合電機株式会社