CZウェーハ　成膜加工

2インチから12インチウェーハへの成膜が可能です。

ェーハ（6インチから12インチ）に対応 ○レチクルご支給による、露光/エッチングも対応（8インチと12インチ） ○レジスト塗布/露光/エッチングは4インチ～12インチまで対応可能 ○バックグラインダー：直径5インチ～12インチ ○ダイシング：直径5インチ～12インチ 【12インチ　対応可能膜種】 ○酸化膜系：熱酸化、RTO、LP-TEOS、HDP-USG、P-TEOS、PSG、BP...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エナテック 東京本社