エナテックはシリコンウェーハ関連製品を多数取り扱っており、お客様の御要望に迅速、的確に対応いたします。
設立後40年有余年、Si分野を中心に半導体産業の一角を支えてまいりました。国内外のシリコンメーカー・加工メーカーの協力により、日本のみならず海外市場へも安定的にシリコン材料を供給しています。
半導体及び太陽電池製造メーカー等への評価用テストウェーハ・成膜ウェーハ販売(及び再生加工等の受託加工)を主とし、ダミーウェーハの分野においても、国内にSiの選別工程の倉庫を2箇所有し、お客様のニーズにお答えすべく様々な種類のウェーハをご紹介させて頂いております。
CZシリコンウェーハ以外にもFZシリコンウェーハ、SOIウェーハ、拡散ウェーハ、SiGe,GaAs、InP、サファイア、ゲルマニウム、SiCウェーハ、半導体用中古装置、フェライトコア、酸化鉄、高純度化学物質等も取り扱っています。
【主な取扱商品】
テスト・モニター用ベアウェーハ(高精度・パーティクルチェック用・COP対策品)、コインロールウェーハ、SOI、拡散ウェーハ、SiGe、GaAs、Ge,サファイア、石英、等。
各種加工{成膜・グラインダー(50μm以下も可能)ダイシング・サイズダウン・パターニング・Si再生研磨加工・洗浄加工}も対応可能です。
【CZウェーハ】
■直径は1インチ〜450mmに対応可能
■成膜加工可能
■テストパターン付ウェーハ(4インチ〜12インチ)も対応
■レチクルご支給によるテストパターニング受託も対応
【FZウェーハ】
直径30mmから8インチ、0.1 ohmから10k ohm cmを超えるような高抵抗シリコンウェーハを取り扱っております。製法はノンドープ、ガスドープ、中性子照射品などがあり、高ライフタイム、低酸素・低炭素濃度が特徴です。
【用途例】
□各種試作研究開発 □半導体製造装置評価 □太陽電池ウエハ…
シリコン単結晶/多結晶/合成石英の各種加工品も取り扱っております。
化合物半導体や各種電子材料も取り扱っております。
詳細情報
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