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    【資料】半導体産業におけるイオンクロマトグラフィーの応用

    陰イオンの不純物を的確に測定できるツールとして応用されています!

    導体材料や半導体製造プロセスなどにおけるイオンクロマト グラフィーの応用例をご紹介。是非、ご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■半導体材料へのイオンクロマトグラフィーの応用 ・窒化ケイ素中のフッ素と塩素の定量 ・炭化ケイ素中の陰イオンと陽イオンの測定 ・酸化ケイ素粉末中の陰イオンの測定 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか...

    メーカー・取り扱い企業: 科健化学株式会社 Science and Health with Chemistry CO., LTD.

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